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【科技前沿】 电子信息用超高纯铝及其合金镀膜材料的关键技术开发及产业化

发布时间:2016-10-26

来源:有研亿新材料有限公司

薄膜材料是集成电路、分立器件、平板显示等电子元器件制造业的关键支撑材料,其中铝薄膜由于具有电阻率低、易沉积、易刻蚀,工艺成熟等优点,在电子器件中的导电、互连、焊接等方面应用广泛,其中超高纯铝蒸发材料和溅射靶材是超高纯铝镀膜材料的主要形式,是我国高端铝材料的空白领域。在国家863重点项目和北京市科委计划项目的资助下,有研亿金新材料有限公司依托北京有色金属研究总院的综合优势,历经10年时间完成了从小尺寸铝蒸发材料,到4~6、8~12大尺寸半导体用溅射靶材,再到高代线大尺寸平板显示用溅射靶材的研制,实现了超高纯铝镀膜材料制备技术的全面突破,成为国内唯一一个完全具有自主知识产权的集成电路、分立器件及平板显示领域用全系列高端超高纯铝及其合金镀膜材料制造的高新技术企业。

作为高端电子元器件制造的关键原材料,对超高纯铝及其合金镀膜材料的纯度、晶粒尺寸、织够、焊接质量以及大尺寸靶材的精密加工等技术指标要求高,其关键核心技术长期以来一直被国外公司掌握。有研亿金的超高纯铝及其合金镀膜材料科研团队通过艰苦攻关,开发出超高纯新型铝合金制备技术、超高纯铝蒸发材料高效短流程洁净制造技术、超高纯铝靶材微观组织精细调控技术、靶材与背板的高可靠连接技术、高利用率靶材结构优化设计等关键技术在产品性能达标的同时解决了大尺寸靶材工程化实施难题。随着多系列蒸发材料和靶材的批量稳定生产,有研亿金公司的铝系列蒸发材料和8~12"封装靶材分别占据了国内80%和90%的市场份额。蒸发材料产能达到6吨/年,半导体靶材9000块/年,平板显示用大尺寸靶材2000块/年。截止到2015年底,累积实现销售额13471.13万元,创汇361.04万美元,制定国家(行业)标准4项,获得授权专利19项,解决了我国电子信息用超高纯铝镀膜材料严重依赖进口的问题。

本项目涉及的高纯铝及其合金镀膜材料是电子信息行业的关键基础材料之一,是传统有色金属工业转型升级、开发高附加值深加工产品的重要示范,经济和社会效益显著。本项目整体技术达到国内领先、国际先进水平。通过项目实施,培养了一批掌握自主核心技术的研发人员,建立了具有我国自主知识产权的高端超高纯铝及其合金制品的加工制造基地,极大地促进了传统有色金属工业的深加工和产业技术的提升,完善了我国先进电子信息制造业及其配套产品的供应链,推动了我国电子信息制造业的发展。


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